Analizator ProtaR

Analizator gazów śladowych ProtaR (RGA) firmy Protea został wyposażony w minimalną elektronikę połączoną z maksymalną wydajnością w stosunku do RGA dostępnych na rynku.

Analizator ProtaR RGA firmy Protea to kompaktowy, stabilny i solidnie zaprojektowany kwadrupolowy spektrometr mas (QMS), zbudowany w oparciu o najnowszą technologię kwadrupolową. ProtaR to przydatne narzędzie analityczne do badania i analizy gazów śladowych w próbach szczelności, powlekania półprzewodników i zastosowaniach produkcyjnych, będący w stanie wykryć i zmierzyć prawie wszystkie gazy o niskich granicach wykrywalności i szybkich przemianach chemicznych. Spektrometr masowy wykonuje pomiary stosunku masy do ładunku cząsteczek w próbce, natomiast dzięki analizie widma masowego, możemy zidentyfikować i określić ilościowo, które cząsteczki są obecne w mieszaninie gazowej. QMS wbudowany w analizatorze ProtaR, zawiera filtr masowy składający się z 4 równoległych okrągłych prętów, stąd nazwa kwadrupol.

Bardzo szybki (milisekundowy) czas odpowiedzi.

Wykrywa prawie każdy gaz.

Niskie koszty utrzymania, odporny na korozję.

Zaawansowana chemometria do kwantyfikacji wielogazowej.

RGA jest oferowane z zaawansowanymi algorytmami analizy wielowymiarowej, takimi jak PLS, PCA.

Największa stabilność temperaturowa.

Próbkowanie 24-bitowe w standardzie.

Detektor Faradaya i C-SEM w standardzie.

6 krotny zakres dynamiczny.

Połączenie Ethernet, bezpośrednie lub kontrolowane przez sieć

Dane zapisywane w formacie .csv. Zapis widma w formacie .csv, .spc, .dx.

Oprogramowanie Windows z OPC, protokoły Modbus.

Przegląd zastosowania

Piece próżniowe.

Procesy półprzewodnikowe.

Metalurgia.

Badania i rozwój.

Procesy próżniowe.

Integracja z istniejącymi systemami próżniowymi.

ProtaR jest dostarczany z oprogramowaniem analitycznym PAS, służącym do konfiguracji RGA i analizy pików. Oprogramowanie pozwala na konfigurację jonizacji i ustawienie wzmocnienia. Skany widma mogą być wykonywane dla pojedynczej masy (wykrywanie nieszczelności), mas specyficznych (skoki masy) lub jako pełny skan analogowy, w zakresie mas RGA.

Widma masowe można wykreślić w skali liniowej lub logarytmicznej, jako a histogram lub wykres słupkowy oraz także jako widmo dopasowane do piku. Analiza dynamiczna może być stosowana w minimalnym zakresie, poprzez wykorzystanie analizy wysokości piku dla konkretnych mas. W ten sposób uzyskamy trend online w surowych jednostkach ciśnienia cząstkowego, prądu jonowego itp. Alternatywnie, analiza pełnej kwantyfikacji może być przeprowadzona wieloma metodami poprzez pik jednowymiarowy - kompensacja wysokości, pik wielowymiarowy CLS oraz pik wielowymiarowy PLS.